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技术支持
洁净室等级标准

洁净室等级划分标准  
       目前对洁净室等级划分最常用的是美国联邦FS 209E标准。
  一般来说,1级洁净室主要用于制造大规模集成电路的微电子工业;10级的洁净室主要用于带宽小于2微米的半导体行业;100级是垂直流的洁净室,可用于医药中的无菌制造工艺、外科手术、人造内脏器官和集成电路生产;1000级主要用于光学产品和高质量微型轴承的生产,以及飞机陀螺仪的测试;10000级用于液压设备或气压设备的生产,有些情况下也用于食品饮料的生产;100000级用于很多工业部门生产部门,食品饮料和医药行业也常常使用这一级洁净室。

空气洁净度等级表

空气洁净

度 (N)

大于或等于表中粒径的最大浓度限值(个/立方米)

0.1um

0.2um

0.3um

0.4um

1um

5um

1

10

2

 

 

 

 

2

100

24

10

4

 

 

3

1000

237

102

35

8

 

4

10000

2370

1020

352

83

 

5

10000

23700

10200

3520

832

29

6

100000

237000

102000

35200

8320

293

7

 

 

 

352000

83200

2930

8

 

 

 

3520000

832000

29300

9

 

 

 

35200000

8320000

293000


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